l  사건 개요

특허청 심사관은 2020. 8. 24. ‘이 사건 출원발명은 선행발명 1, 2에 의하여 진보성이 부정된다.‘라는 이유로 의견제출통지를 하였다. 이에 원고는 2020. 10. 26. 보정서를 제출하였고 2021. 2. 26. 재심사를 청구하면서 보정서를 제출하였으나, 특허청 심사관은 2021. 3. 22. ‘이 사건 출원발명은 거절이유를 해소하지 못하였다.’라는 이유로 거절결정을 하였고, 이에 원고는 2021. 4. 21. 특허심판원 2021원1001호로 위 거절결정에 대한 불복심판청구를 하였으나, 특허심판원은 2022. 1. 26. 원고의 위 심판청구를 기각하는 이 사건 심결을 하였다.

l  판시 요지

선행발명 1로부터 이 사건 제1항 출원발명에 이르기 위해서는 ① 선행발명 1의 언더플레이트에 매립되는 히터를 네스티드 구성으로 배열되고 개별 제어되는 적어도 3개의 가열 엘리먼트로 변경하여야 하고, ② 가열 엘리먼트를 포함하는 하부 하우징의 측벽이 바닥으로부터 위로 돌출되는 것으로 변경하면서, ③ 가열 엘리먼트에 의해 방출되는 복사선을 투과하는 판을 부가하여야 한다.

그런데 아티클의 표면온도를 균일하게 하는 것은 이 사건 출원발명이 속하는 기술분야에서 당면한 기술적 과제이고, 선행발명 2에 그와 같은 기술적 과제를 해결할 수 있는 ‘개별 제어되는 복수의 가열 램프’가 개시되어 있으므로, 통상의 기술자는 선행발명 1의 ‘히터’를 선행발명 2의 ‘개별 제어되는 복수의 가열 램프’로 변경하여 구성요소 2-1, 2-3과 같은 구성을 쉽게 도출할 수 있다.

선행발명 2에는 ‘가열 램프 시스템은 대략 반원 형상을 갖도록 형성된 동심으로 배치된 튜브형 가열 램프’라는 기재가 있으며, 도면 12에는 호 형상의 튜브형 가열 램프가 복수개로 동심으로 둘러싸는 형태로 배치된 것이 나타나 있다. 또한 을 제7, 8호증의 기재 및 영상에 의하면 이와 같은 형상은 급속 열처리 장치 분야에서 이 사건 출원발명 이전에 널리 알려지고 사용되는 기술임을 알 수 있어 통상의 기술자가 선행발명 2를 참작하여 가열 엘리먼트의 배치 구조를 ‘네스티드(nested) 구성’으로 변경하는 것에 어떠한 어려움이 있다고 볼 수 없다.

선행발명 2의 램프를 선행발명 1에서 히터가 형성된 위치에 설치하면, 자연히 램프를 수용하는 램프박스의 측벽도 이 사건 출원발명과 마찬가지로 ‘위로’ 돌출되게 된다. 그런데 통상의 기술자는 선행발명 1의 히터를 선행발명 2의 램프로 변경할 때 그 위치로서 본래 히터의 위치인 웨이퍼 하부를 우선적으로 고려할 것이므로, 결국 차이점 2는 선행발명 1, 2에 의해 쉽게 극복될 수 있는 것이다.

선행발명 2에는 이 사건 출원발명의 판(24)과 실질적으로 동일한 기능과 작용효과를 갖는 투과 윈도우(68)가 개시되어 있다. 그리고 투과 윈도우(판)는 복사열을 이용하는 램프에서 램프의 열을 투과하면서 램프를 보호하기 위한 것(식별번호 [0041])으로 가열수단으로 램프를 사용하면 그에 따라 자연히 수반되는 구성이다. 또한 을 제7 내지 12호증의 기재 및 영상에 의하면, 텅스텐 할로겐 램프와 웨어퍼 사이에 석영창(수정창)을 배치하여 텅스텐 할로겐 램프에서 방사하는 복사열을 석영창(수정창)을 통해 웨이퍼에 가하여 이를 가열하는 점은 이 사건 출원발명의 기술분야에서 널리 사용되고 있었다는 점을 알 수 있다. 따라서 차이점 3은 선행발명 1의 히터를 선행발명 2의 램프로 교체하면서 어려움 없이 극복 가능한 것이다.

따라서 이 사건 제1항 출원발명은 통상의 기술자가 선행발명 1에 선행발명 2를 결합하여 쉽게 발명할 수 있어 그 진보성이 부정된다.

출처: 특허법원 홈페이지